1、前言

        在半導和模塊化控制電路工藝高技術中，質地、晶圓、電子電子元配件的各種測試英文圖片是必不宜少的教學環節。伴隨半導各種測試英文圖片高技術的提升，號碼源表SMU搭配電極臺的裝置團體就已被廣應用于質地/細小電子元配件的電學性核驗中。號碼源表SMU必備源測功能性，就能夠引起功率-電流電壓(I-V)性線條，是半導質地、電子元配件電耐熱性定量分析側量的關鍵；電極臺有手動、半主動和全主動3種，只能根據各種測試英文圖片想要使用設施的的產品只能。在常用時想要提前準備電極的質地及其針尖的直徑與形狀圖片，電極質地的不同，其輸出阻抗也不能一樣的；最后，電極尖剎車盤磨損和生態破壞也會對各種測試英文圖片但是容易造成直接影響。

        在測試時，通過數字源表提供激勵并對測量信號進行采集。首先將電流或電壓輸入被測器件（DUT），測量該器件對此輸入信號的響應；這些信號的路徑為：源表的輸出端接入電纜，電纜和探針連接，電流或電壓信號通過探針至芯片。

圖：SMU、測試探針、DUT相連提醒

        下文中，我們將探討數字源表SMU和探針臺的連接注意事項，以及不同材料/器件的測試應用案例。

2、數字源表SMU與探針臺的連接

        測驗探針臺與源表的接比較常見有幾種，1種利用同定位定位中線接，另1種利用三同定位定位中線接。當在線測量小電壓(nA、pA)時，應利用三同軸呼叫轉移模塊電源和三同定位定位中線纜。在連通源表自我保護好端測驗電路系統中，仍然三同軸的自我保護好層與內芯內是等電勢差，不會出現漏電壓產生，就可以增強小電壓測驗精密度。

圖：三同軸線纜半剖圖

（1導體；2耐壓；3內關閉層；4在期間層；5外關閉層；6外保護套）

圖：三同定位軸線纜等效電路系統圖

  上圖如下圖所示為三同定位軸電纜等效集成運放圖，工作輸出頂級HI和Guard直接的電位差差可以說為0，而使解決電纜自身業務的漏電流。

以下是使用普賽斯直流源表、脈沖源表、高壓源表、大電流源表與探針臺的接線說明：

S編直流電源表

- 兩同軸連接 -

使用香蕉頭轉BNC母頭的轉接頭進行連接；

- 三同軸連接 -

        三同軸無線防水連結器與傳統兩芯無線防水連結器有了的不同，可與此同時接駁手機數據走勢燈、的接地和關閉層，關閉便用效果明顯。和多芯電纜線比較，三同軸電纜線構造很簡單，耐用高；和兩芯同軸電纜線比較，包括更為重要的關閉性能指標和小手機數據走勢燈的傳送本事。三同軸電纜線的無線連結的方法便用了GUARD手機數據走勢燈，發揮著了關閉的作用，更有助于小手機數據走勢燈的自動測量。

P系列脈沖源表

- 兩同軸連接 -

操作杜邦線轉BNC母頭開始接；

- 三同軸連接 -

施用三同軸呼叫轉移模塊電源做拼接。

E系列高壓源表

- E100(1200V) -

就直接動用三同水平線完成聯系；

- E200(2200V)/E300(3500V) -

將常見的的三同軸換為高電壓專門三同軸網；油田三同軸插頭的抗壓性學習能力強大，普賽斯動用的油田三同軸插頭就可以抗壓性3500V。

圖：左-油田三同軸、右-常見三同軸

HCPL 100大電流源表

大交流電側量時，單根探頭充許的交流電較少，交流電過大或者會作用燒針物理現象，作用測試圖片結局，于是是需要選擇多探頭電容串聯。

圖：多電極串聯示意圖

3、探針臺與器件的連接

 在不同的材料測試中可能會遇到共面電極或異面電極的材料。共面電極指陽極和陰極在同一平面；異面電極指陽極和陰極不在同一平面，常見為正反面。

圖：共面電級對接示意圖

圖：異面參比電極相連接提醒

4、測試注意事項

-探針臺接地：探針臺結構上有很多金屬，在帶電的環境下會存在很強的靜電，一般探針臺會自帶大地連接線，使用中將探針臺接大地，避免釋放靜電給測試帶來影響。一般地線分為兩類：一種是工作接地，另一種是安全性接地。工作接地是把金屬導體銅塊埋在土壤里， 再通過導線引出地面，將導線接入設備的接地端口，形成接地回路。 安全性接地是指使用探針臺金屬外殼自帶的接地線進行接地，當探針臺金屬外殼發生絕緣損壞，外殼帶電時，電流沿著其外殼自帶的接地線接入大地，以達到安全的目的。

-連接線接地：探針臺的連接線為同軸線，兩根同軸線的內芯是信號線，從而導致兩根同軸線的外屏蔽層懸空，未起到屏蔽的作用，在磁場環境復雜的情況下會對測試產生較大的干擾。因此，為了獲得較好的測試效果，需要將同軸線纜的外屏蔽層接入工作地線。

-關閉光源：很多器件和材料對光源敏感，測試中如果不關閉光源會影響測試結果，所以測試時盡量在無光源影響的環境中進行。

-小電流測試時加屏蔽罩：如果測試電流為pA級別，需要給探針臺增加屏蔽罩。

-異面電極材料連接：異面電極材料連接時通常會使用探針臺Chuck盤做電極，但是Chuck盤的平整度會對材料的接觸面有影響，那么此時就需要使用引電極。