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用心于半導電性能指標自測

國產數字源表(SMU)和探針臺測試應用案例

特征:admin 周期:2024-03-06 13:16 閱讀量:3184

1、MPD晶圓測試

測試設備:脈沖激光源表P300+測試探針臺

異常現象:測試中存在一個3nA左右的漏電流

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圖:超時檢驗曲線美圖

異常原因:測試現場的連接線屏蔽層接地不達標,外界電磁環境的作用下使設備對大地的電位發生變化,造成設備工作不穩定

優化措施:將屏蔽層接地

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圖:提高后公測線條圖


2、三極管測試

測試設備:2臺交流電源表S300+電極臺

異常現象:源表輸出0-3V的電壓掃描,當輸出的電壓小于0.5V時,源表回讀的電壓值為-0.5V

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圖:異常處理測驗畢竟

失敗現象:電極臺不一定接地,電極臺節構上長期留存廢金屬,在通電的生活環境下易長期留存消除靜電,才能對測試結局造成后果

調優方法:將測試探針臺完成電線接入使用麥田

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圖:推廣后測式后果

3、芯片測試

測試設備:交流電源表S300+電極臺

異常現象:源表未傳輸,電極冒煙花

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圖:不正確檢測-電極冒火焰

異常原因三同水平線纜GUARD數據信息沒有支撐。GUARD數據信息如銜接合適,其電勢與數據信息層首要不符,于是漏電很弱,于是對數據信息充當半個定的保障的作用;是GUARD數據信息沒有支撐,其與數據信息層的電勢差巨大,這樣子漏電巨大,對數據信息的導致好大

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優化措施:將GUARD表現接入使用源表,使GUARD表現發揮著保護好效應

4、PD測試

測試設備:直流源表S300+探針臺

異常現象:源表在100nA的量程下,輸出-2V電壓,實際顯示-2.69V

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圖:特別檢查結果顯示

異常原因:客戶使用的同軸線接觸不良,探針臺沒有接地

優化措施:更換新的同軸線,將探針臺通過導線接入大地


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圖:改進后各種測試導致

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